来说。”
贺光明觉得曹阳对光刻机应该是了解的比较很少,要不然不会做出让一直生产机床等设备的南山设备去研究光刻机。
所以他准备好好的给曹阳扫盲一下。
“首先要让一束激光准确击中正在以时速大约200英里运动的小锡球,等小锡球的温度达到50万度时,再用一束激光轰击它,这时就能产生波长135纳米的极深紫外光。”
“要持续稳定产生这种紫外光,需要以每秒钟大约5万次的频率轰击小锡球。”
“这种激光器全世界只有一家德意志公司能生产,这家叫通快的德意志公司用了十年时间才研发成功,单单是这台激光器就有45700多个零件。”